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某半導體企業(yè):超短貨期,穩(wěn)定供貨助力薄膜沉積工藝

2024-10-14 09:33:52


圖片來源:pexels

項目背景:半導體迎來第二發(fā)展曲線

在生成式人工智能推動下,今年半導體產(chǎn)業(yè)大幅反彈。根據(jù)多方預(yù)測,半導體行業(yè)將持續(xù)增長,2030年有望突破1萬億美元里程碑。 在我國,面對半導體被‘卡脖子’的嚴峻現(xiàn)實,其發(fā)展速度居全球之首,且需求量較大。國家對半導體發(fā)展也高度重視,并持續(xù)提出支持政策。


企業(yè)概況:致力于半導體技術(shù)國產(chǎn)化

精量科技服務(wù)的某半導體企業(yè)致力于國產(chǎn)化替代,專業(yè)布局碳化硅工藝,經(jīng)過多年工藝積累,目前形成以刻蝕工藝設(shè)備、薄膜沉積工藝設(shè)備等系列產(chǎn)品,主要用于半導體前道工藝階段,如碳化硅、氮化鎵等化合物半導體加工。


工況需求:超供貨周期,保證生產(chǎn)質(zhì)量
該半導體企業(yè)為下游客戶提供薄膜沉積、刻蝕、除膠等設(shè)備,用于在基底材料上制作和沉積薄膜圖層,以形成芯片的功能層。在化學氣相沉積(CVD)過程中,需用氣液混合蒸發(fā)器將液體源材料蒸發(fā)并混合,從而在沉積過程中形成均勻的薄膜。
 該半導體企業(yè)聯(lián)系精量科技,了解精量科技蒸發(fā)器產(chǎn)品,以替代某國外品牌,并提出以下需求: 
1.供貨周期短且穩(wěn)定; 
2.確保液體完全蒸發(fā); 
3.響應(yīng)速度快,混合蒸發(fā)氣體輸出均勻; 

4.液體流量精度達到規(guī)定標準.


解決方案:供貨周期短,保證生產(chǎn)質(zhì)量
精量科技了解需求后,根據(jù)混合的介質(zhì)及工況,為客戶設(shè)計氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)。 

系統(tǒng)配置了可控蒸發(fā)混合器x1、液體質(zhì)量流量控制器x1、氣體質(zhì)量流量控制器x1、溫度控制儀x1。



圖:用于氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)的ACU20CEM可控蒸發(fā)混合器產(chǎn)品 


系統(tǒng)配置如下: 

可控蒸發(fā)混合器:采用 ACU20CEM型號,氣體最大量程10 ln/min,液體(水)最小量程120g/h。 
液體質(zhì)量流量控制器:ACU20FE 科里奧利質(zhì)量流量控制器,準確度±0.25% F.S,重復(fù)精度0.05% F.S。 
氣體質(zhì)量流量控制器:ACU20FD高精度控制器,準確度±0.5% F.S,重復(fù)精度 ±0.2% F.S。 

溫度控制儀:可控制最高達200℃~300℃高溫,充分滿足指定介質(zhì)蒸發(fā)條件。


項目收益:助力高效、高質(zhì)量鍍膜制備
該半導體企業(yè)使用精量科技的氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng),在整體精度、響應(yīng)時間、蒸發(fā)效率、流量等性能和指標都滿足該企業(yè)既有工況和要求。在具體使用過程中,取得了以下收益: 
1.保障生產(chǎn)工作正常進行 
精量科技近10年的積累,從研發(fā)、生產(chǎn)、調(diào)試到發(fā)貨,建立了高效的供貨系統(tǒng)。其供貨周期短,不影響客戶使用和正常作業(yè)。憑借高效的生產(chǎn)和調(diào)試程序,能滿足客戶對訂貨時間及數(shù)量的要求。 
2.確保高質(zhì)量薄膜工藝 
系統(tǒng)均采用精度高的配置設(shè)備,充分滿足沉積工藝過程中出氣均勻、蒸發(fā)高效、響應(yīng)時間快的標準要求。 
3.助力高效的薄膜生產(chǎn)工作 
精量科技的氣液混合蒸發(fā)系統(tǒng)整體性能穩(wěn)定可靠,量程范圍寬,滿足不同作業(yè)環(huán)境下的需求,助力企業(yè)高效穩(wěn)定生產(chǎn)集成電路薄膜。 


在部分半導體以及新材料等工藝中進行精確混合蒸發(fā),以確保沉積出的薄膜質(zhì)量穩(wěn)定。精量科技的蒸發(fā)系統(tǒng)在氣液混合環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用,已獲國內(nèi)多家涉及薄膜沉積工藝的企業(yè)認可,并與之達成長期戰(zhàn)略合作關(guān)系。